等离子体射频电源系统是半导体制造产业链中的关键环节，长期由国外企业占据主导地位。由于技术门槛高、研发周期长、制造精度要求严苛，该核心部件一度成为我国半导体产业实现自主可控的主要制约因素之一。行业数据显示，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，与产业发展需求仍有明显差距。恒运昌自成立以来，将攻克这个关键环节作为重要方向。公司围绕等离子体射频电源系统开展自主研发，经过十年持续投入，陆续推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，推动国内市场格局发生变化。其中，第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程工艺，第三代产品Aspen系列可支撑7至14纳米先进制程，达到国际先进水平，补齐了国内有关领域的产品空白。目前，公司正推进面向更先进制程的第四代等离子体射频电源系统及匹配器研发，持续进行技术迭代。恒运昌的研发成果也获得了国家层面的认可。截至2025年6月30日，公司拥有已授权发明专利108项、申请发明专利133项，并取得国家高新技术企业、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”等资质。研发投入上，公司近年来保持增长：2022年至2024年研发费用分别为2154.21万元、3696.37万元、5528.00万元；2025年上半年研发费用为4330.84万元，占营业收入的14.24%，体现出对技术研发的持续投入。本次科创板上市募资14.14亿元，恒运昌计划重点投向四大项目。其一为沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目，用于扩大产能；其二为半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目，通过建设智能产线并引入先进设备，提高效率与质量；其三为研发与前沿技术创新中心项目，强化研发能力与产品技术水平；其四为营销及技术支持中心项目，提升技术服务与响应效率，增强客户合作深度。公司同时将补充流动资金，用于支持日常经营。上述募投项目围绕公司主营业务与产业需求展开，既面向现有产品的扩产与优化，也为后续技术突破提供支撑。随着项目落地，公司有望深入优化成本结构，增强研发与市场拓展能力，巩固在半导体级等离子体射频电源系统领域的竞争优势，带动规模与技术水平同步提升。从行业层面看，恒运昌的上市与发展具有一定代表性。当前全球半导体产业竞争加剧，我国对关键环节自主可控的需求更为迫切。作为核心零部件领域创新企业，恒运昌的技术突破与产业化进展，对完善产业链配套、提升整体竞争力具有示范意义。
恒运昌的科创板征程，不仅记录了一家企业的成长，也折射出中国高端装备制造业在关键技术攻关中的持续探索；在全球科技竞争加速的背景下，坚持自主创新、突破核心技术，是提升产业链安全性与可控性的必由之路。恒运昌的实践表明，依托长期研发投入与面向市场的产品布局，中国制造有望在高端领域实现从跟跑到并跑的提升。随着更多类似企业持续成长，中国半导体产业自主化进程也将更加快。