3月24日,上海滴水微光科技有限公司的赵创新总经理带着团队,给集成电路学院也就是微电子学院的师生送来了光刻机的前沿技术。学院副院长王少熙出面接待了大家,校园里的科研氛围一下子就被点燃了。赵创新给老师们详细讲了公司技术发展的历史,还有产业对光刻机的具体需求,让在座的师生们第一次感受到了行业的脉搏跳动。 王少熙副院长也没藏着掖着,向大家亮出了学院的家底:科研方向、师资队伍、人才培养这三大块都搞得不错。紧接着双方就开始了一场头脑风暴。企业提出希望能把真实的项目搬到教室里去,学院这边表示可以派研究生常驻工厂搞联合培养。关于科研项目合作,企业列出了一份“卡脖子”技术清单,学院当场认领了其中“光源稳定性监测”和“KrF光刻机光学误差校正”这两个子课题。 校企双方一拍即合,决定共建“微纳光学检测联合实验室”,还列出了15台高端仪器设备作为首批共享的内容。短短两个小时里,大家把以前挂在嘴边的“共赢发展”变成了实实在在的任务单子。调研结束前,双方达成了共识:从这次对接开始建立长效机制,“季度例会”和“年度评审”要定下来,还要把“校企联合实验室”、“博士后流动站”、“本科实习基地”这三张牌一起打出去。 这次调研不光搭建了沟通的桥梁,也为中国追赶光刻机技术写下了生动的一笔。只要高校实验室和企业产线能够无缝衔接,国产高端制造的春天很快就会到来。