东京计装开发了VF-3030和VF-3035两款流量传感器，把它们都归入VF3000系列。这个系列是一款PFA涡流式传感器，有着很高的性价比。它们的结构设计得很简单，特别适合在半导体制造中用来管理超纯水、一般的水或者低粘度化学液体。除了五种不同的流量范围外，这个系列还提供电流输出、脉冲输出以及显示加报警再带电流输出的多种型号，这样就能根据用户的具体需求来选最合适的了。 这两款传感器的最小测量流量是0.3升每分钟，最大能测到150升每分钟。清洁主体用的是420HP-J这种新型的PFA材料。在传感器的部分，设计师直接取消了O型圈的结构，让所有接触液体的地方都用PFA材料来做，这样能进一步提升清洁度，还能把液体在管道里的残留减少到最少。 为了确保高可靠性，它们采用了成熟的卡门涡流法来检测流量。因为这个方法没有运动部件，所以不用定期去维护。而且输出的信号跟体积流量是成正比的，也就不用额外校正了。 它们的流路结构很简单，只有涡流发生器和涡流检测器这两部分构成的，所以压力损失非常低。这种超紧凑又轻便的设计打破了传统流量计的老样子。 东京计装的VF3000系列还拿到了CE认证，并且提供三种型号供选择。如果你需要显示功能和电流输出的话，可以选4~20mA直流输出的类型，还有LED能显示瞬时流量、再加上两个报警输出。如果只是要电流输出的类型，那就是4~20mA直流输出就行。至于脉冲输出的类型则是集电极开路输出的。 测量原理是这样的：当满流发生器放进水流里时，下游两侧就会交替产生与流速成正比的卡门涡流。VF3000就是通过测量压电元件因为卡门满旋而接收到的电荷量变化来得到流量信号的。这些信号经过转换后就变成了跟流量成正比的信号被输出了出去。这就把卡门涡旋的产生过程给完整地展现出来了。