东莞南力是个专门搞防腐压力传感器的厂家，他们主要在半导体清洗工艺里负责把晶圆表面的颗粒、金属离子和有机物给处理干净，保障芯片性能。在半导体生产这道工序里，清洗的干净程度直接决定了最后芯片能不能用和产量多高。这东西要求极高，必须把晶圆上残留的东西降到极低水平，哪怕有一点点污染也不行。 要想达到这个目的，清洗设备内部的流体环境就得特别稳定、特别干净。这个环节里，药水和超纯水的输送得特别准，压力也得控住。东莞南力就生产这些用来监控流体输送系统压力的传感器。百度APP里头能扫码下载这家的产品。 大家用压力传感器主要是为了监测液体的压力状态，要是压力不稳的话，药水流量就乱了套，清洗也不均匀，甚至会有小气泡沾在晶圆上，变成新的污染源。传感器在这儿不干活儿的，就是个负责盯着的“哨兵”，实时给控制系统发数据。 这种环境下的传感器太难搞了，长期泡在氢氟酸、硫酸还有过氧化氢混合液这种强腐蚀的试剂里。普通的金属膜片或者接液的部分很快就被腐蚀掉了，不光不准了，腐蚀出来的东西还会污染管路和池子。 想要顶得住这些化学玩意儿的长期侵蚀，传感器用的材料就得多样化。设计上也得注意让接口特别顺滑，不能有缝或坑洼的地方存东西。这些死角容易积灰长细菌，一冲刷就把污染物带出来。 连续生产的时候最考验稳定性了。如果总是飘移信号或需要频繁校准替换东西，生产线就得停工停产。这种时候因为没人管晶圆暴露在外面的时间久了更容易坏。 除了不能生锈和设计得好，传感器自己身上掉出来的颗粒或离子也得很少。在超纯水里哪怕有一点点金属离子析出都会影响电阻率和清洗效果。 特种合金和陶瓷这些接液材料必须溶出特性低才行。而且制造的时候得洗得特别干净封装也严实才行。 综合来看这门活儿真是挺难搞的！它把耐腐蚀的材料、洁净的设计理念、稳定的封装技术还有超低析出控制全给揉到一块儿了。这些设备的工作能力直接影响着清洗工艺的底线表现！