我们来讲讲ASTM、CE、DC、ITO和M-3这几个词，然后聊聊ITO导电膜方阻的测量。ITO，也就是氧化铟锡，是触控屏和太阳能电池这类产品里必不可少的材料，它的方阻，也就是表面电阻，直接关系到导电性能怎么样。晶格手持式四探针法ITO导电膜方阻测试仪M-3，是给薄膜材料设计的便携式设备，用了四探针原理来测电阻，还不会弄坏样品，实验室做研发或者生产线质检都能用。 这个原理就是说，以前用两根探针去测电阻的时候，探针接触到材料产生的电阻会把结果弄得不准。M-3就把电流注入和电压检测分开了，四个探针排成一条线，外面两个扎进去电流，里面两个感受电压差。再结合薄膜的厚度和探针之间的距离，用公式一算，就能知道方阻值了。这样就消除了接触电阻和材料厚薄的干扰，特别适合测那种薄薄的导电膜。 M-3是那种充电的手持设计，主机才0.3公斤重。用的是DC 3.7V的锂电池，功率5W，能用好几个小时不休息。标配里探头、充电器和校准片都有了。探头的针尖间距是固定的1.59mm，这是符合ASTM标准的，能保证测量结果每次都差不多。它能测电流也能测电压，但没法存数据，只能用笔记下来结果。它有CE认证，说明符合欧盟的安全标准，能在国外市场卖。 用的时候把探头垂直按在导电膜上压一压（大概1N的力气），按一下测试键就能直接读出数值了。校准片是用来定期验证仪器准不准的，防止探头用久了变钝造成偏差。因为是无损检测，M-3可以直接拿成品来试，不用像以前那样非得把样品切开才能测了。 它的优点就是方便带着到处走，一个手就能操作。不过缺点也有几个：因为体积小没地方放数据存储器；探头间距固定了没法调；对于特别薄或者特别厚的材料可能不太灵；而且只能手动校准，得经常用标准片去验证精度。