台积电打算在EUV光刻机这块给ASML出难题，摆明了想当老款机器的钉子户，ASML自然不会坐视不理。毕竟这类设备的单价实在太高，普通的EUV光刻机就得花1.5亿美元左右，等到ASML搞出第二代NA=0.55的High EUV后，价格直接飙升到4亿美元以上，据说第三代NA=0.75的机型更是会卖到7到8亿美元。成本涨得这么快，自然没人愿意再买新机。台积电手里握着一百多台老款EUV，光是这一百多亿美元的巨额投资就在那摆着呢。要是换成第二代，那就是400多亿美元的天价开销。要知道2025年台积电也就赚了550亿美元左右，相当于把一年赚的钱全换成光刻机都不够。这么烧钱的买卖，台积电肯定不愿意干。所以他们在对外宣传时声称，自家的2nm芯片用NA=0.33的普通EUV就够了，连1.4nm的工艺都不需要换High EUV。 面对这种情况，ASML心里自然不是滋味。毕竟花了大价钱搞研发不就是为了让客户换新机吗？哪有客户死抱着旧款不撒手的道理。为了打破僵局，ASML想出了一个办法。他们打算把EUV的光源功率从600W提升到1000W，这么一来处理晶圆的速度能快上50%，产能也就跟着翻倍了。这招其实挺损的，原理跟手机厂商逼你升级系统一样。虽然光刻机没法直接通过系统让机器变卡，但新款一旦变快了，旧款自然就显得慢了。ASML还特意放话出来说，最晚要在2030年把这个能提高50%产能的机型给做出来。 这下压力可全给到台积电这边了。眼看着人家的产能提升了这么多自己还在原地踏步，这仗以后还怎么打？现在就看台积电怎么回应了：要么乖乖换机器配合；要么私下跟ASML商量个两全其美的法子；要么干脆继续当钉子户看看谁先撑不住。反正接下来的路还长着呢，咱们不妨走着瞧。