给你们讲讲山金 kofloc 科赋乐的这款3360-1/4SW-N2-5SLM质量流量控制器，跟大家聊聊Kofloc 3660和3665系列的具体参数。 核心型号就是3660，专门做MFC/MM的，3665是同系列里的大流量版本，给那些需要处理更大流量的场景用。环境适应性这一块，允许在5到45摄氏度工作，保存温度能低到-10度，最高60度。湿度嘛，从10%一直到90% RH都行，只要别结露就行。 主体材质是SUS316L、SUS316或者磁性不锈钢做的，密封材料用的是FKM，这是个好东西，耐油耐化学腐蚀。也可以换成NBR或者CR，具体看实际需求。电气连接用的是D-sub 9针，符合KFC标准，这就跟SEMI标准兼容了。 电气接口方面，信号输入是0到5VDC，输入阻抗得大于等于1MΩ；输出也是0到5VDC，负载电阻要大于等于250kΩ。数字通信方面支持RS485，用的是MODBUS RTU协议。电源要求就两种：一种是+15VDC，允许±5%的波动，功耗不能超过100mA；另一种是-15VDC，同样允许±5%的波动，功耗控制在250mA以内。 显示器是4位7段LED数码管，默认就是把流量值显示出来。 机械规格上，3660系列的标准接口是1/4 SWL，还能换成1/8 SWL、1/4 VCR或者Rc1/4。3665系列则是3/8 SWL，接口选项也挺多：1/2 SWL、1/2 VCR或者Rc3/8都有。 重量方面，3660系列大概有1000克重，3665系列稍重一点，大约1500克。 至于使用注意事项，只能在干燥、没有腐蚀性气体、没有粉尘也没有油雾的洁净环境里用。精度是用氮气标定的，换成其他气体得用CF值换算一下才行。换了气体以后得按氮气的满量程比例重新设定流量。测量的数据可以拿来补偿但不保准修正后的精度。模拟输入输出信号都能在设备上配置调整。