破解半导体界面“热堵点”难题 西电团队以原子级薄膜改写芯片散热路径

半导体产业发展长期面临一个基础难题:新材料的理论性能不断刷新,但落到器件上往往达不到预期。症结在于材料界面的质量控制。在以氮化镓为代表的第三代半导体、以氧化镓为代表的第四代半导体中,不同材料层之间的界面质量,直接决定器件的整体性能。长期以来,业界多用氮化铝作为不同半导体材料之间的中间层,实现材料粘合与过渡。但传统生长工艺存在先天短板:氮化铝生长时,原子容易自发形成大量不规则凸起,表面呈现凹凸不平的岛状形态。这类微观缺陷会削弱界面热传导效率,热量传递被反复阻滞,形成明显的“热堵点”,导致热量在芯片内部堆积,进而引发性能下降甚至器件失效。这个散热瓶颈困扰行业近二十年,成为限制性能继续提升的重要因素。西安电子科技大学研究团队从源头调整了解题路径。他们提出“离子注入诱导成核”工艺,将原本随机、非均匀的氮化铝生长过程,转变为可控的均匀生长。借助该技术,氮化铝层的微观结构实现跃迁:由粗糙的多晶岛状结构,转为原子排列高度有序的单晶薄膜。平整的单晶薄膜显著减少界面缺陷,使热量能够更快、更顺畅地通过缓冲层导出。实验结果验证了这一改进的效果:新结构的界面热阻仅为传统岛状结构的三分之一,散热效率提升两倍以上。关键指标的显著改善,为芯片综合性能提升提供了支撑。该成果更重要的价值在于通用性与可扩展性。研究团队将氮化铝从单一“黏合剂”升级为可适配、可扩展的“通用集成平台”,为不同半导体材料的高质量集成提供了可复制的路径,也为第三代、第四代半导体及后续材料体系的集成创新提供了参考。有关研究成果已发表于国际学术期刊《自然·通讯》和《科学·进展》,并获得国际学术界关注。从应用前景看,这一突破在国防与前沿科技领域潜力突出。随着新型半导体材料在高功率、高频应用中加速落地,散热能力提升将直接增强器件可靠性与工作效率,对我国半导体产业自主创新具有现实意义。

从实验室的原子尺度优化到产业层面的性能提升,这项进展说明了基础研究“从0到1”的关键作用。在全球科技竞争加速的背景下,中国科研团队以持续的原始创新,试图在半导体这个战略领域打开新的突破口。正如郝跃院士所言:“解决真问题需要真功夫,而真功夫往往藏在那些被视作‘常识’的技术细节里。”